Аннотация:
Приводятся результаты первых экспериментов по лазерной микрообработке объектов усиленным световым пучком заданной конфигурации при одновременном визуальном контроле процесса обработки на экране. Достигнут минимальный размер реза 2 мкм при обработке металлических пленок, нанесенных на диэлектрическую подложку. Максимальная плотность мощности в пятне фокусировки могла достигать 0,1 ГВт/см2 для средней и 1 ТВт/см2 для пиковой мощности. Измерения контраста усиленного изображения показали, что даже в условиях значительного насыщения контраст изображения меняется незначительно в широком диапазоне изменения мощности обрабатывающего пучка и остается близким к контрасту усиленного изображения в отсутствие обрабатывающего пучка.
Образец цитирования:
К. И. Земсков, М. А. Казарян, В. М. Матвеев, Г. Г. Петраш, М. П. Самсонова, А. С. Скрипниченко, “Лазерная обработка объектов с одновременным визуальным контролем в системе генератор – усилитель на парах меди”, Квантовая электроника, 11:2 (1984), 418–421 [Sov J Quantum Electron, 14:2 (1984), 288–290]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe4879
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v11/i2/p418
Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
M. V. Trigub, P. I. Gembukh, N. A. Vasnev, D. V. Shiyanov, Atmos Ocean Opt, 36:4 (2023), 415
Trigub V M. Vasnev N.A. Evtushenko G.S., Opt. Commun., 480 (2021), 126486
Li L. Shiyanov D.V. Gubarev F.A., Appl. Phys. B-Lasers Opt., 126:10 (2020), 155
Evtushenko G.S., International Conference on Atomic and Molecular Pulsed Lasers Xii, Proceedings of Spie, 9810, ed. Tarasenko V. Kabanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2015, 98101F
Gubarev F.A. Klenovskii M.S. Li L., International Scientific Conference on Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials, IOP Conference Series-Materials Science and Engineering, 81, IOP Publishing Ltd, 2015, 012116