|
Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 1, страницы 181–183
(Mi qe4654)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Краткие сообщения
Направленная кристаллизация при лазерном отжиге пленок
Ю. А. Битюрин, С. В. Гапонов, А. А. Гудков, В. Л. Миронов Институт прикладной физики АН СССР, Горький
Аннотация:
Экспериментально исследована лазерная рекристаллизация полупроводниковых пленок на аморфных подложках. С помощью полупрозрачных масок на поверхности образца создавалось неоднородное распределение температуры определенной симметрии, которое стимулировало ориентированный рост. Этим методом удалось получить ориентированные пленки PbTe и Ge ориентации (100) и (111). Обсуждается возможный механизм образования ориентированных пленок на неориентирующих подложках.
Поступила в редакцию: 04.05.1983
Образец цитирования:
Ю. А. Битюрин, С. В. Гапонов, А. А. Гудков, В. Л. Миронов, “Направленная кристаллизация при лазерном отжиге пленок”, Квантовая электроника, 11:1 (1984), 181–183 [Sov J Quantum Electron, 14:1 (1984), 121–123]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe4654 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v11/i1/p181
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 149 | PDF полного текста: | 79 | Первая страница: | 1 |
|