Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1995, том 22, номер 7, страницы 706–710 (Mi qe443)  

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Химическое осаждение пленок нитрида бора из газовой фазы, стимулированное импульсами УФ излучения эксимерного KrF-лазера

М. В. Угаров, В. П. Агеев, В. И. Конов

Институт общей физики РАН, г. Москва
Аннотация: Впервые реализован синтез пленок нитрида бора из газовой фазы под действием импульсов интенсивного УФ излучения KrF-лазера. Исследованы зависимости скорости осаждения от плотности лазерной энергии, температуры подложки и давления боразина. Определены оптимальные условия для достижения максимальных скоростей осаждения (около 0.1 нм за импульс). Методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и электронной оже-спектроскопии установлено, что основным компонентом осаждаемых пленок является стехиометрический гексагональный нитрид бора. Обсуждаются возможности реализации лазерного осаждения пленок кубического нитрида бора.
Поступила в редакцию: 08.11.1994
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1995, Volume 25, Issue 7, Pages 679–683
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1995v025n07ABEH000443
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 81.15.Gh, 42.62.Cf


Образец цитирования: М. В. Угаров, В. П. Агеев, В. И. Конов, “Химическое осаждение пленок нитрида бора из газовой фазы, стимулированное импульсами УФ излучения эксимерного KrF-лазера”, Квантовая электроника, 22:7 (1995), 706–710 [Quantum Electron., 25:7 (1995), 679–683]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe443
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v22/i7/p706
  • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    1. Feray Bakan, Meltem Sezen, Merve Gecgin, Yapincak Goncu, Nuran Ay, Microsc Microanal, 23:5 (2017), 891  crossref
    2. A. Hidalgo, V. Makarov, G. Morell, B. R. Weiner, Dataset Papers in Nanotechnology, 2013 (2013), 1  crossref
    3. Dachun Huang, Arturo Hidalgo, Vladimir I. Makarov, Gerardo Morell, Brad R. Weiner, Chemical Physics Letters, 509:4-6 (2011), 108  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:299
    PDF полного текста:256
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025