|
Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 10, страницы 1226–1228
(Mi qe4298)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий
В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация:
Измерялись скорости травления пленок α-С:Н излучением эксимерного лазера в воздухе и вакууме. Установлено, что два механизма абляции – химический и физический – доминируют в различных диапазонах плотности энергии. Рассматриваются процессы, влияющие на возникновение химического травления и ограничивающие его скорость. Проведено сравнение энергозатрат на обработку пленок α-С:Н непрерывным и импульсно-периодическим лазерным излучением.
Поступила в редакцию: 12.05.1991
Образец цитирования:
В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев, “Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий”, Квантовая электроника, 18:10 (1991), 1226–1228 [Sov J Quantum Electron, 21:10 (1991), 1112–1115]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe4298 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i10/p1226
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 183 | PDF полного текста: | 98 |
|