Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 10, страницы 1226–1228 (Mi qe4298)  

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий

В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев

Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация: Измерялись скорости травления пленок α-С:Н излучением эксимерного лазера в воздухе и вакууме. Установлено, что два механизма абляции – химический и физический – доминируют в различных диапазонах плотности энергии. Рассматриваются процессы, влияющие на возникновение химического травления и ограничивающие его скорость. Проведено сравнение энергозатрат на обработку пленок α-С:Н непрерывным и импульсно-периодическим лазерным излучением.
Поступила в редакцию: 12.05.1991
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1991, Volume 21, Issue 10, Pages 1112–1115
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1991v021n10ABEH004298
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
PACS: 79.20.Ds, 81.65.Cf, 42.55.Lt, 61.80.Ba


Образец цитирования: В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев, “Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий”, Квантовая электроника, 18:10 (1991), 1226–1228 [Sov J Quantum Electron, 21:10 (1991), 1112–1115]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe4298
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i10/p1226
  • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    1. P.A. Pivovarov, A.A. Kupriyanov, M.S. Komlenok, A.M. Romshin, S.M. Pimenov, V.I. Konov, Diamond and Related Materials, 152 (2025), 111962  crossref
    2. П. Б. Сергеев, Н. В. Морозов, А. Н. Кириченко, Квантовая электроника, 48:2 (2018), 136–144  mathnet  elib; Quantum Electron., 48:2 (2018), 136–144  crossref  isi
    3. Kononenko T.V., Freitag C., Komlenok M.S., Onuseit V., Weber R., Graf T., Konov V.I., J. Appl. Phys., 115:10 (2014), 103107  crossref  isi
    4. Vitaly I. Konov, Taras V. Kononenko, Vitali V. Kononenko, Optical Engineering of Diamond, 2013, 385  crossref
    5. Konov V.I., Laser Photon. Rev., 6:6 (2012), 739–766  crossref  isi
    6. M. Lindstam, M. Boman, K. Larsson, G. Stenberg, J.-O. Carlsson, MRS Proc., 397 (1995)  crossref
    7. Jayshree Seth, R. Padiyath, S. V. Babu, Applied Physics Letters, 63:2 (1993), 126  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:229
    PDF полного текста:118
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025