Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 10, страницы 1226–1228 (Mi qe4298)  
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий

В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев

Институт общей физики АН СССР, Москва
PDF полного текста (825 kB) Список цитирования (6)
Аннотация: Измерялись скорости травления пленок α-С:Н излучением эксимерного лазера в воздухе и вакууме. Установлено, что два механизма абляции – химический и физический – доминируют в различных диапазонах плотности энергии. Рассматриваются процессы, влияющие на возникновение химического травления и ограничивающие его скорость. Проведено сравнение энергозатрат на обработку пленок α-С:Н непрерывным и импульсно-периодическим лазерным излучением.
Поступила в редакцию: 12.05.1991
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1991, Volume 21, Issue 10, Pages 1112–1115
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1991v021n10ABEH004298
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
PACS: 79.20.Ds, 81.65.Cf, 42.55.Lt, 61.80.Ba


Образец цитирования: В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев, “Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий”, Квантовая электроника, 18:10 (1991), 1226–1228 [Sov J Quantum Electron, 21:10 (1991), 1112–1115]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe4298
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i10/p1226
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:183
    PDF полного текста:98
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024