Аннотация:
Измерялись скорости травления пленок α-С:Н излучением эксимерного лазера в воздухе и вакууме. Установлено, что два механизма абляции – химический и физический – доминируют в различных диапазонах плотности энергии. Рассматриваются процессы, влияющие на возникновение химического травления и ограничивающие его скорость. Проведено сравнение энергозатрат на обработку пленок α-С:Н непрерывным и импульсно-периодическим лазерным излучением.
Образец цитирования:
В. И. Конов, Т. В. Кононенко, С. М. Пименов, А. А. Смолин, Н. И. Чаплиев, “Импульсно-периодическое лазерное травление алмазоподобных углеродных покрытий”, Квантовая электроника, 18:10 (1991), 1226–1228 [Sov J Quantum Electron, 21:10 (1991), 1112–1115]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe4298
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i10/p1226
Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
P.A. Pivovarov, A.A. Kupriyanov, M.S. Komlenok, A.M. Romshin, S.M. Pimenov, V.I. Konov, Diamond and Related Materials, 152 (2025), 111962
П. Б. Сергеев, Н. В. Морозов, А. Н. Кириченко, Квантовая электроника, 48:2 (2018), 136–144; Quantum Electron., 48:2 (2018), 136–144
Kononenko T.V., Freitag C., Komlenok M.S., Onuseit V., Weber R., Graf T., Konov V.I., J. Appl. Phys., 115:10 (2014), 103107
Vitaly I. Konov, Taras V. Kononenko, Vitali V. Kononenko, Optical Engineering of Diamond, 2013, 385