Рассеяние лазерного и рентгеновского излучения сверхгладкими поверхностями, обработанными методом алмазного точения. Эксперимент

Создана оригинальная методика исследования качества поверхности лазерных зеркал, полученных алмазным точением, по рассеянию лазерного и рентгеновского излучения. Обработка экспериментальных диаграмм рассеяния позволила выделить помимо основной гармонической составляющей микрорельефа ряд дополнительных, не кратных ей длинноволновых гармоник. Исследовано влияние кривизны рельефа на форму диаграммы рассеяния и сформулированы критерии кривизны рельефа, позволяющие количественно обрабатывать данные рассеяния. Достоверность результатов подтверждается совпадением данных о поверхности, полученных из диаграмм лазерного и рентгеновского (отношение длин волн ~4000) рассеяния при различных углах падения. Развитые в работе методы могут быть использованы для контроля качества различных оптических элементов независимо от материала отражающего или пропускающего покрытия.