Светоиндуцированная полировка испаряющейся поверхности

Предложена теоретическая модель полировки поверхности алмазных пленок в результате их графитизации и испарения из твердой фазы под действием импульсов эксимерного XeCl-лазера. Модель показывает, что сглаживаются фурье-гармоники поверхностной шероховатости с периодами более 0,7–4,1 мкм, что вполне объясняет наблюдавшуюся полировку поверхности излучением. Обсуждаются способы сглаживания гармоник шероховатостей еще меньших периодов. Предложенная теоретическая модель применима и для нелазерных источников излучения, а также в случае термохимического травления излучением, имеющего аналогично испарению аррениусовскую зависимость скорости фронта травления от температуры поверхности.