|
Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 4, страницы 487–489
(Mi qe3834)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Светоиндуцированная полировка испаряющейся поверхности
В. И. Конов, В. Н. Токарев Институт общей физики АН СССР, Москва
Аннотация:
Предложена теоретическая модель полировки поверхности алмазных пленок в результате их графитизации
и испарения из твердой фазы под действием импульсов эксимерного XeCl-лазера. Модель показывает, что сглаживаются фурье-гармоники поверхностной шероховатости с периодами более 0,7–4,1 мкм, что вполне объясняет наблюдавшуюся полировку поверхности излучением. Обсуждаются способы сглаживания гармоник шероховатостей еще меньших периодов. Предложенная теоретическая модель применима и для нелазерных источников излучения, а также в случае термохимического травления излучением, имеющего аналогично испарению аррениусовскую зависимость скорости фронта травления от температуры поверхности.
Поступила в редакцию: 05.10.1990
Образец цитирования:
В. И. Конов, В. Н. Токарев, “Светоиндуцированная полировка испаряющейся поверхности”, Квантовая электроника, 18:4 (1991), 487–489 [Sov J Quantum Electron, 21:4 (1991), 442–444]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3834 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i4/p487
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 167 | PDF полного текста: | 79 |
|