Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 2, страницы 183–185 (Mi qe3742)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Лазеры

Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений

В. М. Борисовab, А. Ю. Виноходовab, С. М. Герасимовab, Е. В. Евстратовab, Ю. Б. Кирюхинab, С. Г. Кузнецовab, Ю. Ю. Степановab, В. А. Визирьab, В. И. Маныловab, С. П. Носенкоab, С. П. Сычевab, В. В. Червяковab, Н. Г. Шубкинab

a Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва
b Институт сильноточной электроники СО АН СССР, Томск
Аннотация: Приведены результаты по созданию мощного эксимерного лазера, способного генерировать излучение λ = 308 нм со средней мощностью ~600 Вт. Система питания лазера сконструирована на базе четырех коммерческих тиратронов и магнитного ключа. В качестве примера использования такого лазера приводятся результаты по созданию структуры отверстий в полиимиде, нанесенном на алюминий. Такая бинарная пленка является гибким носителем, используемым для монтажа больших интегральных схем.
Поступила в редакцию: 02.10.1990
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1991, Volume 21, Issue 2, Pages 162–164
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1991v021n02ABEH003742
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826.038.823
PACS: 42.55.Lt, 42.62.Cf, 42.60.By, 42.79.Ag, 42.60.Jf


Образец цитирования: В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, С. М. Герасимов, Е. В. Евстратов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Ю. Ю. Степанов, В. А. Визирь, В. И. Манылов, С. П. Носенко, С. П. Сычев, В. В. Червяков, Н. Г. Шубкин, “Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений”, Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183–185 [Sov J Quantum Electron, 21:2 (1991), 162–164]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe3742
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i2/p183
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:117
    PDF полного текста:66
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024