|
Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 2, страницы 183–185
(Mi qe3742)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Лазеры
Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений
В. М. Борисовab, А. Ю. Виноходовab, С. М. Герасимовab, Е. В. Евстратовab, Ю. Б. Кирюхинab, С. Г. Кузнецовab, Ю. Ю. Степановab, В. А. Визирьab, В. И. Маныловab, С. П. Носенкоab, С. П. Сычевab, В. В. Червяковab, Н. Г. Шубкинab a Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва
b Институт сильноточной электроники СО АН СССР, Томск
Аннотация:
Приведены результаты по созданию мощного эксимерного лазера, способного генерировать излучение
λ = 308 нм со средней мощностью ~600 Вт. Система питания лазера сконструирована на базе четырех коммерческих тиратронов и магнитного ключа. В качестве примера использования такого лазера приводятся
результаты по созданию структуры отверстий в полиимиде, нанесенном на алюминий. Такая бинарная пленка
является гибким носителем, используемым для монтажа больших интегральных схем.
Поступила в редакцию: 02.10.1990
Образец цитирования:
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, С. М. Герасимов, Е. В. Евстратов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Ю. Ю. Степанов, В. А. Визирь, В. И. Манылов, С. П. Носенко, С. П. Сычев, В. В. Червяков, Н. Г. Шубкин, “Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений”, Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183–185 [Sov J Quantum Electron, 21:2 (1991), 162–164]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3742 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v18/i2/p183
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 116 | PDF полного текста: | 66 |
|