Многолучевой проекционный микроинтерферометор с усилителем яркости

Экспериментально исследованы основные свойства многолучевого проекционного микроинтерферометра с усилителем яркости на парах меди. Описаны оптическая схема и принцип работы микроинтерферометра. Показано, что нижний предел измерения высоты микроструктуры составляет менее 10 нм. Верхний предел измерений при резком крае границ микроструктуры может достигать 5λ, где λ = 0,5782 мкм – длина волны излучения усилителя яркости на парах меди.