Динамика развития микрорельефа на поверхности кремния под действием мощного лазерного импульса

Методом локальной интерферометрии с пространственным разрешением ~ 5 мкм исследована динамика развития мелкомасштабных деформаций и периодического рельефа поверхности кремния в зоне облучения лазерным импульсом. Показано, что на начальном этапе облучения изменения рельефа поверхности имеют случайный характер. Формирование упорядоченных поверхностных колебаний (поверхностной волны) происходит в расплавленной фазе. Зарегистрированный начальный период поверхностной волны составлял ~20 мкс и возрастал после окончания лазерного импульса. Полное затухание (т. е. запись периодического рельефа) в условиях вышеописанного эксперимента наблюдалось через ~ 5 мс после окончания действия лазерного импульса.