|
Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 5, страницы 449–450
(Mi qe3470)
|
|
|
|
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Динамика развития микрорельефа на поверхности кремния под действием мощного лазерного импульса
А. Ф. Банишев, И. М. Чистяков Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам,
Троицк Моск. обл.
Аннотация:
Методом локальной интерферометрии с пространственным разрешением ~ 5 мкм исследована динамика развития
мелкомасштабных деформаций и периодического рельефа поверхности кремния в зоне облучения лазерным
импульсом. Показано, что на начальном этапе облучения изменения рельефа поверхности имеют случайный
характер. Формирование упорядоченных поверхностных колебаний (поверхностной волны) происходит
в расплавленной фазе. Зарегистрированный начальный период поверхностной волны составлял ~20 мкс и возрастал после окончания лазерного импульса. Полное затухание (т. е. запись периодического
рельефа) в условиях вышеописанного эксперимента наблюдалось через ~ 5 мс после окончания действия
лазерного импульса.
Поступила в редакцию: 29.11.1991
Образец цитирования:
А. Ф. Банишев, И. М. Чистяков, “Динамика развития микрорельефа на поверхности кремния под действием мощного лазерного импульса”, Квантовая электроника, 19:5 (1992), 449–450 [Sov J Quantum Electron, 22:5 (1992), 408–409]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3470 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v19/i5/p449
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 106 | PDF полного текста: | 69 |
|