|
Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 5, страницы 441–446
(Mi qe3468)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Модификация оптических свойств и динамика лазерной УФ абляции полиимида
П. А. Демкович, М. Л. Котляр, В. Ю. Кулагин, К. В. Сонин Институт микроэлектроники АН СССР, Ярославль
Аннотация:
Экспериментально исследовано аблятивное фототравление тонких пленок полиимида излучением эксимерного
КгF-лазера. Обнаружена обратимая модификация оптических параметров полимера, возникающая при плотностях энергии лазерного пучка ниже порога абляции. В рамках предложенной модели рассмотрены возможные режимы тепловыделения в пленке в случае допорогового лазерного воздействия. С помощью численного расчета получена динамика движения фронта абляции за время лазерного импульса.
Поступила в редакцию: 12.11.1991
Образец цитирования:
П. А. Демкович, М. Л. Котляр, В. Ю. Кулагин, К. В. Сонин, “Модификация оптических свойств и динамика лазерной УФ абляции полиимида”, Квантовая электроника, 19:5 (1992), 441–446 [Sov J Quantum Electron, 22:5 (1992), 400–404]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3468 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v19/i5/p441
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 103 | PDF полного текста: | 93 |
|