Модификация оптических свойств и динамика лазерной УФ абляции полиимида

Экспериментально исследовано аблятивное фототравление тонких пленок полиимида излучением эксимерного КгF-лазера. Обнаружена обратимая модификация оптических параметров полимера, возникающая при плотностях энергии лазерного пучка ниже порога абляции. В рамках предложенной модели рассмотрены возможные режимы тепловыделения в пленке в случае допорогового лазерного воздействия. С помощью численного расчета получена динамика движения фронта абляции за время лазерного импульса.