Определение профиля поверхностных структур с помощью дифференциального фазового оптического микроскопа

Разработан метод непосредственного восстановления оптического фазового профиля поверхности по измерениям дифференциальным фазовым оптическим микроскопом (ДФОМ). Исследовано влияние параметров схемы ДФОМ и уровня экспериментальной погрешности на точность восстановления и разрешения ДФОМ в плоскости объекта. Проведено восстановление профилей показателя преломления ионно-обменных канальных волноводов в стекле и поверхности Y-разветвителя, изготовленного путем диффузии титана в ниобат лития, по результатам измерения ДФОМ; при этом достигнуто разрешение в плоскости объекта 0,5 мкм.