Аннотация:
Разработан лазерно-плазменный метод синтеза алмаза на воздухе, без использования вакуумных или реакционных камер. Представлена конструкция лазерного плазмотрона на базе непрерывного СО2-лазера с мощностью излучения до 3 кВт, позволившая осуществить синтез алмазных пленок на подложках, размеры которых в 3–4 раза превышают поперечные размеры плазменной струи. Рассмотрены различные режимы работы плазмотрона при сканировании подложки относительно лазерной плазмы. Обсуждаются возможные направления дальнейших исследований синтеза алмаза из лазерной плазмы на большой площади.
Образец цитирования:
А. П. Большаков, В. Г. Востриков, В. Ю. Дубровский, В. И. Конов, Ф. К. Косырев, В. Г. Наумов, В. Г. Ральченко, “Лазерный плазмотрон для бескамерного осаждения алмазных пленок”, Квантовая электроника, 35:4 (2005), 385–389 [Quantum Electron., 35:4 (2005), 385–389]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3418
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v35/i4/p385
Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
A. F. Glova, I. D. Klochkov, A. Yu. Lysikov, E. D. Radchenko, L. I. Knyazeva, A. N. Kirichenko, Russ. J. Phys. Chem., 98:12 (2024), 2865
П. Б. Сергеев, А. Н. Кириченко, К. С. Кравчук, Н. В. Морозов, Р. А. Хмельницкий, Квантовая электроника, 50:12 (2020), 1173–1178; Quantum Electron., 50:12 (2020), 1173–1178
A F Glova, A Yu Lysikov, S S Nelyubin, I D Klochkov, L K Baldaev, Yu A Novinkin, M A Stogov, J. Phys.: Conf. Ser., 1696:1 (2020), 012021