|
Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 2, страницы 114–127
(Mi qe3351)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Обзор
Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников
И. А. Артюковa, Л. Л. Балакиреваa, Ф. Бийкеркb, А. В. Виноградовa, Н. Н. Зоревa, И. В. Кожевниковa, В. В. Кондратенкоc, О. Ф. Огурцовd, А. Г. Пономаренкоc, А. И. Федоренкоc a Физический институт им. П. Н. Лебедева
АН СССР, Москва
b ФОМ-институт, Нидерланды
c Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина
d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград
Аннотация:
Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.
Поступила в редакцию: 20.06.1991
Образец цитирования:
И. А. Артюков, Л. Л. Балакирева, Ф. Бийкерк, А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, О. Ф. Огурцов, А. Г. Пономаренко, А. И. Федоренко, “Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников”, Квантовая электроника, 19:2 (1992), 114–127 [Sov J Quantum Electron, 22:2 (1992), 99–110]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe3351 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v19/i2/p114
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 285 | PDF полного текста: | 229 |
|