И. А. Артюков, Л. Л. Балакирева, Ф. Бийкерк, А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, О. Ф. Огурцов, А. Г. Пономаренко, А. И. Федоренко, “Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников”, Квантовая электроника, 19:2 (1992), 114–127 [Sov J Quantum Electron, 22:2 (1992), 99

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 2, страницы 114–127 (Mi qe3351)

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Обзор

Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников

И. А. Артюков^a, Л. Л. Балакирева^a, Ф. Бийкерк^b, А. В. Виноградов^a, Н. Н. Зорев^a, И. В. Кожевников^a, В. В. Кондратенко^c, О. Ф. Огурцов^d, А. Г. Пономаренко^c, А. И. Федоренко^c

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
^b ФОМ-институт, Нидерланды
^c Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина
^d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград

PDF полного текста (3567 kB) Список цитирования (4)

Аннотация: Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.

Поступила в редакцию: 20.06.1991

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1992, Volume 22, Issue 2, Pages 99–110
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1992v022n02ABEH003351

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 778.33:776

PACS: 41.50.+h, 42.82.Cr, 42.79.Bh

Образец цитирования: И. А. Артюков, Л. Л. Балакирева, Ф. Бийкерк, А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, О. Ф. Огурцов, А. Г. Пономаренко, А. И. Федоренко, “Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников”, Квантовая электроника, 19:2 (1992), 114–127 [Sov J Quantum Electron, 22:2 (1992), 99–110]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe3351

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v19/i2/p114

Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы