Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1992, том 19, номер 2, страницы 114–127 (Mi qe3351)  

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Обзор

Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников

И. А. Артюковa, Л. Л. Балакиреваa, Ф. Бийкеркb, А. В. Виноградовa, Н. Н. Зоревa, И. В. Кожевниковa, В. В. Кондратенкоc, О. Ф. Огурцовd, А. Г. Пономаренкоc, А. И. Федоренкоc

a Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
b ФОМ-институт, Нидерланды
c Харьковский политехнический институт им. В. И. Ленина
d Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград
Аннотация: Рассмотрено современное состояние рентгеновской литографии и рентгеновской оптики, принципы построения и схемы проекционных рентгенолитографических систем. Проанализированы основные направления исследований, ведущихся в этой области в лабораториях СССР, США, Японии и Великобритании. Указаны проблемы, возникающие при разработке многослойных рентгеновских зеркал нормального падения.
Поступила в редакцию: 20.06.1991
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1992, Volume 22, Issue 2, Pages 99–110
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1992v022n02ABEH003351
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 778.33:776
PACS: 41.50.+h, 42.82.Cr, 42.79.Bh


Образец цитирования: И. А. Артюков, Л. Л. Балакирева, Ф. Бийкерк, А. В. Виноградов, Н. Н. Зорев, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, О. Ф. Огурцов, А. Г. Пономаренко, А. И. Федоренко, “Проекционная рентгеновская литография с использованием точечных источников”, Квантовая электроника, 19:2 (1992), 114–127 [Sov J Quantum Electron, 22:2 (1992), 99–110]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe3351
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v19/i2/p114
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:285
    PDF полного текста:229
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024