В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. В. Иванов, М. А. Новиков, В. А. Маркелов, А. Д. Тертышник, С. С. Уставщиков, “Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии”, Квантовая электроника, 35:7 (2005), 622–626 [Quantum Electron., 35:7 (2005), 622

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2005, том 35, номер 7, страницы 622–626 (Mi qe2902)

Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии

В. В. Кононенко^a, В. И. Конов^a, С. М. Пименов^a, П. В. Волков^b, А. В. Горюнов^b, В. В. Иванов^b, М. А. Новиков^b, В. А. Маркелов^b, А. Д. Тертышник^b, С. С. Уставщиков^b

^a Центр естественно-научных исследований Института общей физики РАН, Москва
^b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

PDF полного текста (263 kB) Список цитирования (9)

Аннотация: Продемонстрирована возможность применения низкокогерентной волоконно-оптической интерферометрии для локального бесконтактного измерения оптической толщины пластин поликристаллического алмаза в процессе воздействия на его поверхность мощного импульсно-периодического лазерного излучения. Создана экспериментальная автоматизированная система, обеспечивающая контроль толщины образцов в процессе абляции их поверхности сканирующим пучком эксимерного KrF-лазера (λ = 248 нм). Показано, что данный метод может быть использован для online контроля лазерной шлифовки и изготовления плоскопараллельных пластин.

Поступила в редакцию: 30.09.2004
Исправленный вариант: 27.05.2005

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2005, Volume 35, Issue 7, Pages 622–626
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2005v035n07ABEH002902

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 52.38.Mf, 81.05.Uv

Образец цитирования: В. В. Кононенко, В. И. Конов, С. М. Пименов, П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. В. Иванов, М. А. Новиков, В. А. Маркелов, А. Д. Тертышник, С. С. Уставщиков, “Контроль лазерной обработки поликристаллических алмазных пластин методом низкокогерентной оптической интерферометрии”, Квантовая электроника, 35:7 (2005), 622–626 [Quantum Electron., 35:7 (2005), 622–626]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe2902

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v35/i7/p622

Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы