Р. В. Волков, Д. М. Голишников, В. М. Гордиенко, А. Б. Савельев, В. С. Черныш, “Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения”, Квантовая электроника, 35:1 (2005), 33–37 [Quantum Electron., 35:1 (2005), 33

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2005, том 35, номер 1, страницы 33–37 (Mi qe2754)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения

Р. В. Волков^a, Д. М. Голишников^a, В. М. Гордиенко^a, А. Б. Савельев^a, В. С. Черныш^b

^a Международный учебно-научный лазерный центр МГУ им. М. В. Ломоносова
^b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

PDF полного текста (243 kB)

Аннотация: Осуществлена имплантация ионов германия из разлетающейся плазмы в кремниевый коллектор. Плазма зажигалась на поверхности твердотельной мишени фемтосекундным лазерным импульсом с интенсивностью ~10¹⁵ Вт/см². Предложена методика определения энергетических характеристик ионной компоненты лазерной плазмы по профилю концентрации имплантированных в подложку атомов.

Поступила в редакцию: 06.07.2004

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2005, Volume 35, Issue 1, Pages 33–37
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2005v035n01ABEH002754

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 52.77.Dq, 52.50.Jm, 42.65.Re

Образец цитирования: Р. В. Волков, Д. М. Голишников, В. М. Гордиенко, А. Б. Савельев, В. С. Черныш, “Имплантация высокоэнергетичных ионов под действием фемтосекундного лазерного излучения”, Квантовая электроника, 35:1 (2005), 33–37 [Quantum Electron., 35:1 (2005), 33–37]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe2754

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v35/i1/p33

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	184
PDF полного текста:	127
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы