Одномодовые лазеры с гребневидным элементом, сформированные в источнике трансформаторно-связанной плазмы

Изучены параметры лазерных диодов (λ = 0.98 мкм) с узким гребневидным волноводом, сформированных низкоэнергетичным ионно-химическим травлением с использованием источника трансформаторно-связанной плазмы. Статистически показано, что при соответствии геометрических размеров гребневидного волновода результатам расчëтов выход годных диодов с мощностью излучения 150–200 мВт может достигать 78%. Установлено существенное влияние оптических свойств волновода в перпендикулярном направлении на выход диодов с заданным уровнем мощности. При использовании обычных оптических покрытий SiO₂–ZrO₂ предельная мощность в одномодовом режиме (220–230 мВт) ограничивалась деградацией зеркальных граней.