|
Квантовая электроника, 2004, том 34, номер 4, страницы 375–380
(Mi qe2683)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Нарушениe адгезии при абляции тонких пленок импульсным лазерным излучением
А. В. Феденев, Е. И. Липатов, В. Ф. Тарасенко, В. М. Орловский, М. А. Шулепов, Н. Н. Коваль, И. М. Гончаренко Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск
Аннотация:
Исследована зависимость воздействия импульсного лазерного излучения ИК и УФ диапазонов на тонкие металлические и композиционные пленки на стеклянной подложке от плотности энергии. При неоднородном распределении плотности энергии по сечению лазерного пучка и длительности импульса излучения ~300 нс на поверхности пленки можно выделить характерные области, размеры которых коррелируют с распределением энергии в пучке и соответствуют режимам испарения, плавления и разрушения под действием термических напряжений. При длительности импульса ~20 нс и однородном распределении плотности энергии по сечению лазерного пучка обнаружено нарушение адгезии металлических и композиционных пленок к стеклу вследствие возникающих термических напряжений без плавления подложки. Определены пороговые плотности энергии лазерного излучения, необходимые для нарушения адгезии пленок титана, нитрида титана, циркония, ниобия и нержавеющей стали на стеклянных подложках. Численные оценки температуры поверхности и термических напряжений, вызванных нагревом, показали, что на преодоление адгезии пленки к подложке расходуется незначительная часть энергии, большая часть энергии термических напряжений идет на возникновение трещин и в кинетическую энергию вылетевших осколков пленки. Предлагается использовать импульсное лазерное излучение для грубой оценки адгезии металлических и композиционных пленок на стеклянной подложке.
Поступила в редакцию: 03.07.2003 Исправленный вариант: 19.12.2003
Образец цитирования:
А. В. Феденев, Е. И. Липатов, В. Ф. Тарасенко, В. М. Орловский, М. А. Шулепов, Н. Н. Коваль, И. М. Гончаренко, “Нарушениe адгезии при абляции тонких пленок импульсным лазерным излучением”, Квантовая электроника, 34:4 (2004), 375–380 [Quantum Electron., 34:4 (2004), 375–380]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe2683 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v34/i4/p375
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 234 | PDF полного текста: | 126 | Первая страница: | 1 |
|