|
Квантовая электроника, 2003, том 33, номер 11, страницы 975–980
(Mi qe2533)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 15 научных статьях (всего в 15 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Лазерное напыление пленок ZnO на кремниевые и сапфировые подложки
А. Н. Жерихинa, А. И. Худобенкоa, Р. Т. Вилльямсb, Д. Вилкинсонb, К. Б. Усерb, Г. Хионгb, В. В. Вороновc a Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, г. Троицк, Московская обл.
b Department of Physics, Wake Forest University, USA
c Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация:
Исследовано лазерное напыление пленок оксида цинка. Для предотвращения попадания на пленку микрочастиц, возникающих при лазерной абляции мишени, использовался промежуточный экран. Изучено влияние условий напыления на морфологию пленки, ее электрические свойства и кристаллическую структуру. Показано, что методом лазерного напыления можно получать пленки с проводимостью обоих типов. Удельное сопротивление пленок составило 0.07 Ом·см для пленок с проводимостью n-типа и 0.08 Ом·см для пленок с проводимостью р-типа. Исследования фотолюминесценции пленок показали, что при интенсивности накачки свыше 6 МВт/см2 в пленках генерируется вынужденное излучение.
Поступила в редакцию: 07.01.2003 Исправленный вариант: 27.02.2003
Образец цитирования:
А. Н. Жерихин, А. И. Худобенко, Р. Т. Вилльямс, Д. Вилкинсон, К. Б. Усер, Г. Хионг, В. В. Воронов, “Лазерное напыление пленок ZnO на кремниевые и сапфировые подложки”, Квантовая электроника, 33:11 (2003), 975–980 [Quantum Electron., 33:11 (2003), 975–980]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe2533 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v33/i11/p975
|
|