Применение деформируемых зеркал в технологических СО2-лазерах. I. Зеркалo с управляемой кривизной отражающей поверхности

Выполнен анализ одноканальных деформируемых зеркал с управляемой кривизной отражающей поверхности. Показаны преимущества биморфной деформируемой оптики по сравнению с зеркалами, имеющими в своей конструкции управляющий пьезопривод. Экспериментально установлено, что чувствительность управляемых биморфных зеркал нелинейно возрастает (до 30%) при больших электрических напряжениях, а для динамических режимов работы этих зеркал характерно увеличение их температуры и емкости под воздействием переменного управляющего напряжения. Выполнено моделирование фокусирующей лазерной головки (фокусное расстояние 100–500 мм), содержащей деформируемое зеркало, а также эксперименты по управлению сфокусированным лазерным пучком.