|
Квантовая электроника, 1994, том 21, номер 11, страницы 1090–1092
(Mi qe234)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Оптимизация решеточного узла ввода–вывода излучения из тонкопленочного волновода, сформированного на кремниевой подложке
О. Парьеa, В. А. Сычуговb, А. Е. Тихомировb, А. В. Тищенкоb, Б. А. Усиевичb a Швейцарский центр микротехники и электроники, Невшатель
b Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва
Аннотация:
Проведены анализ работы и оптимизация параметров решеточного устройства ввода – вывода излучения из тонкопленочного волновода, сформированного на кремниевой подложке. Установлено, что отражение света на границе раздела буферный слой – кремний приводит к существенным изменениям работы решеточного устройства связи. Получены условия максимального вывода света в воздух (или в подложку) как для ТЕ-, так и для ТМ-мод тонкопленочного волновода.
Поступила в редакцию: 11.02.1994
Образец цитирования:
О. Парье, В. А. Сычугов, А. Е. Тихомиров, А. В. Тищенко, Б. А. Усиевич, “Оптимизация решеточного узла ввода–вывода излучения из тонкопленочного волновода, сформированного на кремниевой подложке”, Квантовая электроника, 21:11 (1994), 1090–1092 [Quantum Electron., 24:11 (1994), 1013–1015]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe234 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v21/i11/p1090
|
|