В. И. Емельянов, К. И. Еремин, В. В. Старков, “Дефектно-деформационный механизм спонтанной нуклеации ансамбля пор в твердых телах и его экспериментальная проверка”, Квантовая электроника, 32:6 (2002), 473–475 [Quantum Electron., 32:6 (2002), 473

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2002, том 32, номер 6, страницы 473–475 (Mi qe2225)

Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Письма

Дефектно-деформационный механизм спонтанной нуклеации ансамбля пор в твердых телах и его экспериментальная проверка

В. И. Емельянов^a, К. И. Еремин^a, В. В. Старков^b

^a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
^b Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, п. Черноголовка, Московская обл.

PDF полного текста (153 kB) Список цитирования (9)

Аннотация: Развит дефектно-деформационный (ДД) механизм спонтанного образования ансамблей затравочных пор при травлении полупроводников и металлов, основанный на представлении о генерации и ДД-самоорганизации междоузлий и вакансий в процессе травления. Для p-Si получено хорошее соответствие теоретических и экспериментальных результатов, в частности выявлен предсказываемый ДД-моделью квазигексагональный порядок в расположении микропор на поверхности и показана возможность управления свойствами ансамбля с помощью внешних воздействий.

Поступила в редакцию: 29.03.2002

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2002, Volume 32, Issue 6, Pages 473–475
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2002v032n06ABEH002225

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 81.65.Cf, 68.35.Gy, 61.72.Cc, 81.16.Rf

Образец цитирования: В. И. Емельянов, К. И. Еремин, В. В. Старков, “Дефектно-деформационный механизм спонтанной нуклеации ансамбля пор в твердых телах и его экспериментальная проверка”, Квантовая электроника, 32:6 (2002), 473–475 [Quantum Electron., 32:6 (2002), 473–475]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe2225

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v32/i6/p473

Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	193
PDF полного текста:	90
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы