Широкополосный излучатель низкого давления на хлоридах аргона, криптона и ксенона

Исследованы характеристики широкополосного эксимерного излучателя, работающего в спектральном диапазоне 175—310 нм и возбуждаемого при помощи тлеющего разряда постоянного тока, на смеси Ar–Kr–Xe–Cl₂. Установлено, что данный разряд является источником излучения, спектр которого состоит из полос излучения молекул ArCl, KrCl, XeCl и Cl₂. Оптимальное парциальное давление аргона в смеси составляет 1.3 кПа, криптона и ксенона – по 0.24 кПа, а парциальное давление хлора находится в диапазоне 0.15–0.30 кПа. Мощность УФ-ВУФ излучения со всей боковой поверхности разрядной трубки достигает 4–6 Вт при КПД 15–25%. Излучатель представляет интерес для применений в фотометрии, микроэлектронике, фотохимии и медицине.