Теория дифференциального и интегрального рассеяния лазерного излучения на поверхности диэлектрика с учетом наличия дефектного слоя

Теоретически исследовано дифференциальное и интегральное рассеяние света на диэлектрических поверхностях с учетом наличия тонкого приповерхностного дефектного слоя. Методом функций Грина найдены выражения для интенсивности дифференциального и полного интегрального рассеяния. Найдены условия, при которых рассеянием на дефектном слое можно пренебречь по сравнению с рассеянием на шероховатости. Предложена методика разделения рассеяний, связанных с шероховатостью и с дефектным слоем. Проведены оценки типичных изменений диэлектрической проницаемости и интенсивности рассеяния, соответствующих дефектному слою, связанному с повышенной концентрацией структурных дефектов в приповерхностной области.