УФ-ВУФ эксимерный излучатель с накачкой поднормальным тлеющим разрядом

Исследованы характеристики малогабаритного эксимерного излучателя на смеси Аr – Сl₂, возбуждаемой поднормальным тлеющим разрядом. Показано, что данный разряд является многоволновым источником излучения в области 175 – 258 нм. Оптимальное давление молекул хлора находится в диапазоне 0.3 – 0.5 кПа, а аргона – в диапазоне 2 – 4 кПа. Средняя мощность УФ-ВУФ излучения достигает 0.7 Вт при КПД, равном 3%. Излучатель может быть использован в микроэлектронике, химии высоких энергий, фотометрии коротковолнового диапазона, биофизике и медицине.