|
Квантовая электроника, 2001, том 31, номер 2, страницы 159–163
(Mi qe1909)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Зондовые исследования эрозионного факела при абляции тантала в вакууме излучением эксимерного лазера с длиной волны 308 нм
О. А. Новодворскийa, Е. О. Филипповаa, О. Д. Храмоваa, А. К. Шевелевa, К. Венцельb, И. В. Бартаb a Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, г. Шатуpа, Московская обл.
b Dresden University of Technology, Institute of Semiconductor and Microsystems Technology, Germany
Аннотация:
При помощи зонда Ленгмюра исследовался эрозионный факел, образующийся при абляции мишени из тантала в вакууме излучением эксимерного лазера (λ = 308 нм). В режиме реального времени получены пространственная и временная зависимости электронного и ионного тока зонда. Впервые по сериям зависимостей электронных токов зонда от потенциала зонда измерена электронная температура различных участков факела на разных расстояниях от мишени. Установлены неоднородность электронной температуры факела и ее снижение в различных участках факела с увеличением времени разлета. Определена концентрация ионов в факеле на разных расстояниях от мишени.
Поступила в редакцию: 08.06.2000
Образец цитирования:
О. А. Новодворский, Е. О. Филиппова, О. Д. Храмова, А. К. Шевелев, К. Венцель, И. В. Барта, “Зондовые исследования эрозионного факела при абляции тантала в вакууме излучением эксимерного лазера с длиной волны 308 нм”, Квантовая электроника, 31:2 (2001), 159–163 [Quantum Electron., 31:2 (2001), 159–163]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe1909 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v31/i2/p159
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 165 | PDF полного текста: | 119 | Первая страница: | 1 |
|