К. А. Бронников, С. А. Гладких, К. А. Окотруб, В. П. Корольков, А. А. Кучмижак, А. В. Достовалов, “Формирование лазерно-индуцированных периодических структур на тонких пленках нитридов переходных металлов и полупроводников”, Квантовая электроника, 52:11 (2022), 1012–1017 [Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 3 (2023), S329

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2022, том 52, номер 11, страницы 1012–1017 (Mi qe18196)

Подборка докладов, представленных на Международном семинаре по волоконным лазерам (Новосибирск, 15-19 августа 2022 г.) (редакторы-составители С.Л.Семёнов и С.А.Бабин)

Формирование лазерно-индуцированных периодических структур на тонких пленках нитридов переходных металлов и полупроводников

К. А. Бронников^a, С. А. Гладких^a, К. А. Окотруб^a, В. П. Корольков^a, А. А. Кучмижак^bc, А. В. Достовалов^a

^a Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
^c Тихоокеанский квантовый центр, Дальневосточный федеральный университет

PDF полного текста (6263 kB) Первая страница

Список литературы:

PDF

HTML

Аннотация: Представлены результаты по формированию лазерно-индуцированных поверхностных периодических структур (ЛИППС) на пленках TiN, CrN и Ge₃N₄ толщиной 25 – 400 нм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов видимого и ИК диапазонов. Исследовано влияние параметров лазерного воздействия (длина волны, энергия импульса, скорость сканирования) на морфологию и химический состав формируемых структур. Обнаружено образование упорядоченных термохимических ЛИППС с комплексным составом нитрид/оксид в случае пленок TiN и CrN и абляционных ЛИППС с малым периодом в случае пленки Ge₃N₄.

Ключевые слова: лазерно-индуцированные периодические поверхностные структуры, нитриды переходных металлов, нитриды полупроводников.

Финансовая поддержка	Номер гранта
Российский научный фонд	21-72-20162
Настоящая работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (грант № 21-72-20162).

Поступила в редакцию: 16.09.2022
Исправленный вариант: 27.10.2022
Принята в печать: 27.10.2022

Англоязычная версия:
Bull. Lebedev Physics Institute, 2023, Volume 50, Issue suppl. 3, Pages S329–S335
DOI: https://doi.org/10.3103/S1068335623150046

Тип публикации: Статья

Образец цитирования: К. А. Бронников, С. А. Гладких, К. А. Окотруб, В. П. Корольков, А. А. Кучмижак, А. В. Достовалов, “Формирование лазерно-индуцированных периодических структур на тонких пленках нитридов переходных металлов и полупроводников”, Квантовая электроника, 52:11 (2022), 1012–1017 [Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 3 (2023), S329–S335]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe18196

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v52/i11/p1012

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	99
PDF полного текста:	2
Список литературы:	16
Первая страница:	13

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы