Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Квантовая электроника, 2022, том 52, номер 12, страницы 1094–1101 (Mi qe18141)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Специальный выпуск, посвященный 100-летию со дня рождения Н.Г.Басова

Оптическая и рентгеновская микролитография на рубеже веков

И. А. Артюков

Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, г. Москва
PDF полного текста (345 kB) Список цитирования (1)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Представлен обзор развития методов промышленной фотолитографии на основе эксимерных лазеров и проекционной рентгеновской литографии в конце XX века – начале XXI века. Отражён вклад Н.Г.Басова и его коллег в ФИАНе и МИФИ в развитие этого направления.
Ключевые слова: фотолитография, рентгеновская оптика, многослойная рентгеновская оптика, проекционная рентгеновская литография.
Поступила в редакцию: 16.09.2022
Исправленный вариант: 08.12.2022
Англоязычная версия:
Bull. Lebedev Physics Institute, 2023, Volume 50, Issue suppl. 4, Pages S426–S434
DOI: https://doi.org/10.3103/S1068335623160029
Тип публикации: Статья
PACS: 41.50.+h


Образец цитирования: И. А. Артюков, “Оптическая и рентгеновская микролитография на рубеже веков”, Квантовая электроника, 52:12 (2022), 1094–1101 [Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 4 (2023), S426–S434]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe18141
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v52/i12/p1094
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Квантовая электроника Quantum Electronics
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025