|
Квантовая электроника, 2022, том 52, номер 10, страницы 955–962
(Mi qe18114)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Изготовление и тестирование в мягком рентгеновском и ЭУФ диапазонах дифракционных решеток с Au- и многослойным Mo/Si-покрытиями и с блеском в высоких порядках
Л. И. Горайab, Т. Н. Березовскаяa, Д. В. Моховa, В. А. Шаровac, К. Ю. Шубинаa, Е. В. Пироговa, А. С. Дашковa, А. В. Нащекинc, М. В. Зоринаd, М. М. Барышеваde, С. А. Гарахинd, С. Ю. Зуевd, Н. И. Чхалоd a Академический университет имени Ж. И. Алфёрова
РАН, г. Санкт-Петербург
b Институт аналитического приборостроения РАН, г. Санкт-Петербург
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
d Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
e Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
Дифракционные решетки 500 штрих./мм с блеском и низкой шероховатостью, предназначенные для работы в высоких порядках в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах излучения и имеющие Au- и многослойное Mo/Si-покрытия, изготовлены жидкостным анизотропным травлением вицинальных пластин Si(111)4° и исследованы методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопий. Дифракционная эффективность решеток была определена как с помощью лабораторного рефлектометра, так и путем моделирования на основе строгого метода граничных интегральных уравнений в программе PCGrate™ с учетом реалистичных профилей штрихов. Измеренные в неполяризованном излучении с длинами волн 13.5 и 4.47 нм и расчетные, полученные с учетом случайной шероховатости, значения дифракционной эффективности практически совпадают. Для решетки с многослойным (пять бислоев Mo/Si) покрытием с периодом 20 нм абсолютная эффективность составила ∼40 % в –8-м порядке дифракции при угле падения 70.5°, что является рекордом для среднечастотной решетки, работающей в высоком порядке.
Ключевые слова:
дифракционная решетка с блеском, жидкостное травление Si, треугольный профиль штрихов, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, дифракционная эффективность, экстремальный ультрафиолетовый и мягкий рентгеновский диапазоны.
Поступила в редакцию: 28.07.2022
Образец цитирования:
Л. И. Горай, Т. Н. Березовская, Д. В. Мохов, В. А. Шаров, К. Ю. Шубина, Е. В. Пирогов, А. С. Дашков, А. В. Нащекин, М. В. Зорина, М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, Н. И. Чхало, “Изготовление и тестирование в мягком рентгеновском и ЭУФ диапазонах дифракционных решеток с Au- и многослойным Mo/Si-покрытиями и с блеском в высоких порядках”, Квантовая электроника, 52:10 (2022), 955–962 [Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 2 (2023), S250–S261]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe18114 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v52/i10/p955
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 278 | PDF полного текста: | 8 | Список литературы: | 44 | Первая страница: | 32 |
|