Синтез фторуглеродных нанопленок на титане с помощью излучения мощного KrF-лазера

Осуществлен синтез фторуглеродных (C : F) нанопленок толщиной до 60 нм на поверхности титановых образцов. Пленки были получены при отжиге на воздухе тонких слоев фторуглеродного масла (ФМ) на площади 0.6 см² излучением KrF-лазера при плотностях энергии более 4 Дж/см² в импульсах длительностью 80 нс. Прочность C : F-нанопокрытий оказалась сравнимой с прочностью титана и в сотни раз превышала показатели фторопласта Ф-4. Высокая прозрачность ФМ указывает на возможности его использования в качестве покровной жидкости при модификации поверхности титана излучением многих технологических лазеров.