|
Квантовая электроника, 2020, том 50, номер 8, страницы 750–755
(Mi qe17294)
|
|
|
|
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Влияние облучения сфокусированными наносекундными лазерными импульсами на микротрибологические свойства алмазоподобных пленок
В. Д. Фроловa, П. А. Пивоваровa, Е. В. Заведеевa, М. Л. Шупегинb, С. М. Пименовa a Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский университет «МЭИ»
Аннотация:
Исследовано влияние сфокусированных наносекундных лазерных импульсов на образование и трибологические свойства микроструктур в виде матрицы кратеров, сформированных в алмазоподобных пленках (АПП) a – C : H : Si : O, как нелегированных, так и легированных вольфрамом. Исследования проведены методом сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) c использованием зондов для СЗМ стандартной конструкции с иглой и зондов без иглы (типа tipless). Развита специальная процедура для оценки смачиваемости (краевого угла) определенных участков лазерно-индуцированной микроструктуры по локальной силе адгезии. Согласно проведенным оценкам, в результате лазерного облучения материал внутри кратера становится более мягким и гидрофобным. В наибольшей степени это проявляется в АПП, легированных вольфрамом, где стенки кратеров имеют вид террас, образованных "наночешуйками" – зернами вещества. Сканирование микроструктур зондом типа tipless в режиме микроскопии латеральных сил показало понижение трения в области кратеров.
Ключевые слова:
наносекундные лазерные импульсы, алмазоподобная пленка, микроструктура, микротрибологические свойства.
Поступила в редакцию: 09.12.2019 Исправленный вариант: 13.01.2020
Образец цитирования:
В. Д. Фролов, П. А. Пивоваров, Е. В. Заведеев, М. Л. Шупегин, С. М. Пименов, “Влияние облучения сфокусированными наносекундными лазерными импульсами на микротрибологические свойства алмазоподобных пленок”, Квантовая электроника, 50:8 (2020), 750–755 [Quantum Electron., 50:8 (2020), 750–755]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe17294 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v50/i8/p750
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 88 | PDF полного текста: | 8 | Список литературы: | 16 | Первая страница: | 5 |
|