Моделирование электрооптического модулятора на основе вертикального p–n-перехода в структуре кремний-на-изоляторе

Представлены результаты численного моделирования электрооптического модулятора Маха–Цендера с применением делителей пучка на основе многомодовой интерференции в структуре кремний-на-изоляторе. Управление обеспечивается за счет эффекта обеднения в вертикальном p–n-переходе, который может быть изготовлен с помощью технологической процедуры самовыравнивания. Предложена оптимальная конструкция модулятора, согласованного с внешней 50-омной нагрузкой, для которого при величине обратного смещения –5 В и активной длине 1.7 мм возможна реализация рабочей полосы оптических частот ~50 ГГц. Предложен особый профиль легирования p–n-перехода модулятора, обеспечивающий оптическую полосу частот 30 ГГц при обратном смещении –3 В и длине модулятора 2.5 мм. Такие модуляторы могут найти применение в устройствах интегральной оптики, оптической связи и радиофотоники.