Сканирующий спектрометр/монохроматор на область длин волн 50–330 Å

Рассчитан и реализован сканирующий спектрометр/монохроматор с плоским полем по схеме Хеттрика–Андервуда на область длин волн λ ≈ 50–330 Å. Оптическая схема спектрометра включает в себя фокусирующее сферическое (R = 6000 мм) зеркало, установленное под углом скольжения 8.34°, и плоскую VLS-решетку (Varied Line-Space Grating) скользящего падения, работающую с постоянным углом отклонения 16.68°. Входная и выходная щели прибора неподвижны, фокусное расстояние в рабочем спектральном диапазоне изменяется незначительно. Коротковолновая граница рабочего диапазона определяется спектральной яркостью источника и коэффициентами отражения решетки и зеркала, но не расфокусировкой. Зарегистрированы спектры лазерной плазмы, возбуждаемой сфокусированным пучком лазера (0.5 Дж, 8 нс, 1.06 мкм). Продемонстрирована спектральная разрешающая способность λ/δλ = 1300 на длине волны 182 Å. Схема прибора данного типа подходит для рефлектометрии и метрологии в мягком рентгеновском диапазоне спектра с использованием лазерно-плазменного и синхротронного источников излучения, а также идеально совместима с современными ПЗС-детекторами.