М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, “Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры”, Квантовая электроника, 49:4 (2019), 380–385 [Quantum Electron., 49:4 (2019), 380

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2019, том 49, номер 4, страницы 380–385 (Mi qe17026)

Эта публикация цитируется в 11 научных статьях (всего в 11 статьях)

Специальный выпуск 'Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом'

Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры

М. М. Барышева^a, С. А. Гарахин^a, С. Ю. Зуев^a, В. Н. Полковников^a, Н. Н. Салащенко^a, М. В. Свечников^a, Н. И. Чхало^a, С. Юлин^b

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Germany

PDF полного текста (669 kB) Список цитирования (11)

Список литературы:

PDF

HTML

Аннотация: Разработан дизайн и экспериментально изучены апериодические и стековые шикорокополосные Mo/Si-зеркала для задач проекта "Кортес", оптимизированные на равномерное отражение в диапазоне длин волн 17–21 нм. Показано, что стековые структуры при незначительном проигрыше в величине коэффициента отражения оказываются намного более предпочтительными с точки зрения изготовления и аттестации, что, в свою очередь, позволяет корректировать процесс напыления и за небольшое число итераций достигать расчетных параметров многослойного зеркала.

Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические структуры, блок-структуры, стековые структуры, магнетронное напыление, обратная задача.

Финансовая поддержка	Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций	I.1
Российский фонд фундаментальных исследований	18-32-00173
Работа поддержана программой Президиума РАН I.1 “Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом”. Доработка программы Multifitting для решения задачи оптимизации в классе стековых структур выполнялась в рамках гранта РФФИ для молодых ученых № 18-32-00173.

Поступила в редакцию: 06.03.2019

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2019, Volume 49, Issue 4, Pages 380–385
DOI: https://doi.org/10.1070/QEL16990

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

Образец цитирования: М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, “Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры”, Квантовая электроника, 49:4 (2019), 380–385 [Quantum Electron., 49:4 (2019), 380–385]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe17026

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v49/i4/p380

Эта публикация цитируется в следующих 11 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы