М. Ю. Цветков, Н. В. Минаев, А. А. Акованцева, П. С. Тимашев, А. Э. Муслимов, В. М. Каневский, “Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира”, Квантовая электроника, 49:2 (2019), 133–140 [Quantum Electron., 49:2 (2019), 133

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2019, том 49, номер 2, страницы 133–140 (Mi qe16985)

Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира

М. Ю. Цветков^a, Н. В. Минаев^a, А. А. Акованцева^a, П. С. Тимашев^bac, А. Э. Муслимов^d, В. М. Каневский^d

^a Институт фотонных технологий ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, г. Москва, г. Троицк
^b Институт регенеративной медицины Первого Московского государственного медицинского университета им. И. М. Сеченова
^c Институт химической физики им. Н. Н. Семенова РАН, г. Москва
^d Институт кристаллографии ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, г. Москва

PDF полного текста (6167 kB) Список цитирования (12)

Список литературы:

PDF

HTML

Аннотация: Для микроструктурирования такого твердого и сложного в обработке материала как сапфир предлагается использовать технологию термоплазмонного лазерно-индуцированного жидкостного травления. В предлагаемой технологии поглощающей лазерное излучение средой служат наночастицы серебра, получающиеся из прекурсора (AgNO₃) и обеспечивающие значительное поглощение лазерного излучения благодаря наличию плазмонного поглощения с формированием существенно локализованной области с экстремально высокими температурами и давлениями. Такой подход позволяет обрабатывать сапфир как в "мягком" режиме с созданием структур в нанометровом диапазоне размеров, так и в "жестком" режиме, позволяющем формировать "глубокие" структуры со скоростями травления до нескольких микрометров за импульс и большим аспектным отношением. Показана возможность формирования в сапфире (в надпороговом режиме) периодических структур.

Ключевые слова: лазерно-индуцированное жидкостное травление, сапфир, термоплазмоника, микроструктурирование, лазерно-индуцированные периодические структуры.

Финансовая поддержка	Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований	18-02-00420 А 18-29-06056 МК 16-29-11763 офи-м
Российский научный фонд	14-33-00017-П
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций	007-ГЗ/Ч3363/26
Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант № 18-02-00420 А) в части создания установки лазерного микроструктурирования и (гранты № 18-29-06056 МК; 16-29-11763 офи-м) в части исследования процессов травления сапфира при сверхкритических температурах. Работа поддержана также грантом РНФ № 14-33-00017-П в части создания аппаратуры при работе со сверхкритическими температурами и давлениями и Федеральным агентством научных организаций (соглашение № 007-ГЗ/Ч3363/26) в части развития технологий микроструктурирования.

Поступила в редакцию: 02.10.2018
Исправленный вариант: 19.10.2018

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2019, Volume 49, Issue 2, Pages 133–140
DOI: https://doi.org/10.1070/QEL16831

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

Образец цитирования: М. Ю. Цветков, Н. В. Минаев, А. А. Акованцева, П. С. Тимашев, А. Э. Муслимов, В. М. Каневский, “Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира”, Квантовая электроника, 49:2 (2019), 133–140 [Quantum Electron., 49:2 (2019), 133–140]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe16985

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v49/i2/p133

Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	287
PDF полного текста:	89
Список литературы:	34
Первая страница:	16

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы