|
Квантовая электроника, 2019, том 49, номер 2, страницы 133–140
(Mi qe16985)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 11 научных статьях (всего в 11 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма
Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира
М. Ю. Цветковa, Н. В. Минаевa, А. А. Акованцеваa, П. С. Тимашевbac, А. Э. Муслимовd, В. М. Каневскийd a Институт фотонных технологий ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, г. Москва, г. Троицк
b Институт регенеративной медицины Первого Московского
государственного медицинского университета им. И. М. Сеченова
c Институт химической физики им. Н. Н. Семенова РАН, г. Москва
d Институт кристаллографии ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, г. Москва
Аннотация:
Для микроструктурирования такого твердого и сложного в обработке материала как сапфир предлагается использовать технологию термоплазмонного лазерно-индуцированного жидкостного травления. В предлагаемой технологии поглощающей лазерное излучение средой служат наночастицы серебра, получающиеся из прекурсора (AgNO3) и обеспечивающие значительное поглощение лазерного излучения благодаря наличию плазмонного поглощения с формированием существенно локализованной области с экстремально высокими температурами и давлениями. Такой подход позволяет обрабатывать сапфир как в "мягком" режиме с созданием структур в нанометровом диапазоне размеров, так и в "жестком" режиме, позволяющем формировать "глубокие" структуры со скоростями травления до нескольких микрометров за импульс и большим аспектным отношением. Показана возможность формирования в сапфире (в надпороговом режиме) периодических структур.
Ключевые слова:
лазерно-индуцированное жидкостное травление, сапфир, термоплазмоника, микроструктурирование, лазерно-индуцированные периодические структуры.
Поступила в редакцию: 02.10.2018 Исправленный вариант: 19.10.2018
Образец цитирования:
М. Ю. Цветков, Н. В. Минаев, А. А. Акованцева, П. С. Тимашев, А. Э. Муслимов, В. М. Каневский, “Термоплазмонное лазерно-индуцированное жидкостное травление сапфира”, Квантовая электроника, 49:2 (2019), 133–140 [Quantum Electron., 49:2 (2019), 133–140]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16985 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v49/i2/p133
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 252 | PDF полного текста: | 82 | Список литературы: | 25 | Первая страница: | 16 |
|