Самоинициирующийся объемный разряд в нецепных HF-лазерах на смесях SF6 с углеводородами

Исследован объемный самостоятельный разряд без предыонизации — самоинициирующийся объемный разряд (СИОР) в нецепных HF-лазерах на смесях SF₆ — C₂H₆. Установлено, что после первичного локального пробоя разрядного промежутка СИОР распространяется по промежутку в направлениях, перпендикулярных направлению электрического поля, посредством последовательного возникновения перекрывающихся диффузных каналов при близком к квазистационарному разрядном напряжении. Показано, что с появлением новых каналов ток через каналы, сформировавшиеся ранее, уменьшается. Объем, занимаемый СИОР, увеличивается с увеличением вводимой в плазму энергии, а при ограничении объема разряда диэлектрической поверхностью напряжение горения растет одновременно с ростом тока. Рассмотрены возможные механизмы, объясняющие наблюдаемые явления — диссоциацию SF₆ и прилипание электронов к колебательно-возбужденным молекулам SF₆. Развита простая аналитическая модель, позволяющая на качественном уровне описать эти механизмы.