Исследование спектральных характеристик апериодических многослойных зеркал нормального падения на основе Sb/B4C для области λ < 124 Å

Измерены спектры отражения трёх широкополосных апериодических многослойных зеркал на основе пары Sb/B₄C для мягкой рентгеновской оптики и спектроскопии в области длин волн за L-краем Si (λ < 124 Å). Синтезированные многослойные структуры были оптимизированы на максимальное равномерное отражение в диапазонах длин волн 100–120 Å, 95–105 Å и 90–100 Å. Спектры отражения синтезированных зеркал зарегистрированы с использованием лабораторного лазерно-плазменного источника излучения в схеме с регистрацией сигнала электронным детектором с двухкоординатным пространственным разрешением (ПЗС-матрицей с размером ячейки 13 × 13 мкм). Экспериментальные спектры сравниваются с результатами теоретических расчётов. Обсуждается влияние уменьшенных относительно табличных значений плотностей слоёв сурьмы и B₄C на спектры отражения зеркал.