Температурный сенсор на основе полимерной дифракционной решетки с наночастицами серебра

Предложена методика изготовления оптического температурного бесконтактного сенсора на основе полимерной подложки из полиметилметакрилата (ПММА) с дифракционным оптическим элементом, сформированным низкоэнергетической высокодозовой имплантацией ионами серебра через поверхностную маску. Ионная имплантация проводилась с энергией 30 кэВ, дозой облучения 5.0 × 10¹⁶ ион./см² при плотности тока в ионном пучке 2 мкА/см² через поверхностную металлическую маску в виде сетки с квадратными периодическими отверстиями (ячейками) размером 25 мкм. В процессе имплантации в периодических немаскированных областях облучаемого ПММА образовывались наночастицы серебра. Функционирование температурного сенсора на дифракционных микроструктурах из полимера с наночастицами серебра продемонстрировано при его зондировании излучением He – Ne-лазера в диапазоне от 20 °C до 95 °С.