Аннотация:
Продемонстрирована возможность применения тандемной низкокогерентной оптической интерферометрии для контроля локальной лазерной обработки поверхности алмаза. Бесконтактное измерение оптической толщины пластин монокристаллического алмаза осуществлялось непосредственно в процессе воздействия на поверхность мощного импульсно-периодического лазерного излучения. Исследована динамика утоньшения монокристалла в двух принципиально различных режимах лазерного травления поверхности: абляционном (эксимерный KrF-лазер, λ = 248 нм, τ = 20 нс) и наноабляционном (Ti : сапфировый лазер, λ = 266 нм, τ = 100 фс).
Образец цитирования:
В. В. Кононенко, Е. В. Бушуев, Е. В. Заведеев, П. В. Волков, А. Ю. Лукьянов, В. И. Конов, “Контроль лазерной микро- и нанообработки поверхности алмаза с помощью низкокогерентной интерферометрии”, Квантовая электроника, 47:11 (2017), 1012–1016 [Quantum Electron., 47:11 (2017), 1012–1016]