|
Квантовая электроника, 2017, том 47, номер 11, страницы 1012–1016
(Mi qe16721)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Лазерные технологии
Контроль лазерной микро- и нанообработки поверхности алмаза с помощью низкокогерентной интерферометрии
В. В. Кононенкоab, Е. В. Бушуевa, Е. В. Заведеевab, П. В. Волковc, А. Ю. Лукьяновc, В. И. Коновab a Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
c Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Продемонстрирована возможность применения тандемной низкокогерентной оптической интерферометрии для контроля локальной лазерной обработки поверхности алмаза. Бесконтактное измерение оптической толщины пластин монокристаллического алмаза осуществлялось непосредственно в процессе воздействия на поверхность мощного импульсно-периодического лазерного излучения. Исследована динамика утоньшения монокристалла в двух принципиально различных режимах лазерного травления поверхности: абляционном (эксимерный KrF-лазер, λ = 248 нм, τ = 20 нс) и наноабляционном (Ti : сапфировый лазер, λ = 266 нм, τ = 100 фс).
Ключевые слова:
алмаз, лазерная абляция, лазерная наноабляция, низкокогерентная интерферометрия.
Поступила в редакцию: 01.09.2017
Образец цитирования:
В. В. Кононенко, Е. В. Бушуев, Е. В. Заведеев, П. В. Волков, А. Ю. Лукьянов, В. И. Конов, “Контроль лазерной микро- и нанообработки поверхности алмаза с помощью низкокогерентной интерферометрии”, Квантовая электроника, 47:11 (2017), 1012–1016 [Quantum Electron., 47:11 (2017), 1012–1016]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16721 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v47/i11/p1012
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 497 | PDF полного текста: | 50 | Список литературы: | 38 | Первая страница: | 14 |
|