Универсальный компактный широкодиапазонный ВУФ спектрометр для количественных измерений

Рассмотрены основные параметры новой схемы компактного ВУФ спектрометра скользящего падения на основе плоской амплитудной дифракционной решетки. Спектрометр позволит одновременно регистрировать спектры на краю +1-го порядка дифракции с достаточно высоким (λ/δλ ~150) спектральным разрешением, а в –1-м порядке – с умеренным (λ/δλ ~15–30) разрешением, но в очень широком (5–200 нм) спектральном диапазоне. Использование такого спектрометра перспективно для измерения абсолютного выхода излучения в этих областях спектра, что необходимо для диагностики и контроля плазменных источников излучения, в том числе предназначенных для проекционной EUV-нанолитографии.