Исследование формирования термохимических лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур на пленках Cr, Ti, Ni и NiCr фемтосекундным излучением

Исследовано формирование лазерно-индуцированных поверхностных периодических структур (ЛИППС) на пленках Cr, Ti, Ni и NiCr (с различным содержанием Cr) при фемтосекундном лазерном воздействии. Установлено, что на поверхности титана, хрома и нихрома (с содержанием хрома 20%) образуются термохимические ЛИППС с периодом 950, 930 и 980 нм соответственно, однако на поверхности никеля и нихрома с низким содержанием хрома термохимические ЛИППС не образуются, хотя анализ методами рамановской спектроскопии показал, что окисление происходит во всех случаях. Обнаружено формирование на окисленных участках термохимических ЛИППС слабоупорядоченной абляционной структуры с периодом 250–300 нм в случаях хрома и нихрома (80 / 20). Представлены экспериментальные результаты селективного травления термохимических ЛИППС на пленках титана и хрома.