|
Квантовая электроника, 2017, том 47, номер 7, страницы 631–637
(Mi qe16641)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 31 научных статьях (всего в 31 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Исследование формирования термохимических лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур на пленках Cr, Ti, Ni и NiCr фемтосекундным излучением
А. В. Достоваловab, В. П. Корольковab, В. С. Терентьевb, К. А. Окотрубb, Ф. Н. Дульцевc, С. А. Бабинab a Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
b Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
c Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Исследовано формирование лазерно-индуцированных поверхностных периодических структур (ЛИППС) на пленках Cr, Ti, Ni и NiCr (с различным содержанием Cr) при фемтосекундном лазерном воздействии. Установлено, что на поверхности титана, хрома и нихрома (с содержанием хрома 20%) образуются термохимические ЛИППС с периодом 950, 930 и 980 нм соответственно, однако на поверхности никеля и нихрома с низким содержанием хрома термохимические ЛИППС не образуются, хотя анализ методами рамановской спектроскопии показал, что окисление происходит во всех случаях. Обнаружено формирование на окисленных участках термохимических ЛИППС слабоупорядоченной абляционной структуры с периодом 250–300 нм в случаях хрома и нихрома (80 / 20). Представлены экспериментальные результаты селективного травления термохимических ЛИППС на пленках титана и хрома.
Ключевые слова:
термохимические лазерно-индуцированные периодические поверхностные структуры, фемтосекундное лазерное наноструктурирование, лазерная термохимия, абляция, комбинационное рассеяние света, селективное травление.
Поступила в редакцию: 24.03.2017
Образец цитирования:
А. В. Достовалов, В. П. Корольков, В. С. Терентьев, К. А. Окотруб, Ф. Н. Дульцев, С. А. Бабин, “Исследование формирования термохимических лазерно-индуцированных периодических поверхностных структур на пленках Cr, Ti, Ni и NiCr фемтосекундным излучением”, Квантовая электроника, 47:7 (2017), 631–637 [Quantum Electron., 47:7 (2017), 631–637]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16641 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v47/i7/p631
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 373 | PDF полного текста: | 155 | Список литературы: | 36 | Первая страница: | 22 |
|