Аннотация:
Экспериментально исследована возможность применения процесса наноабляции (безграфитизационного фотоиндуцированного травления) для прецизионного микро- и наноструктурирования поверхности монокристалла алмаза. Обработка осуществлялась фемтосекундными импульсами третьей гармоники титан-сапфирового лазера (λ = 266 нм). Обсуждаются особенности формирования нанорельефа поверхности: регулярность формируемых структур и уменьшение скорости наноабляции вблизи уже сформированных кратеров. Продемонстрирована возможность создания алмазной фазовой дифракционной решетки с глубиной рельефа ~130 нм и проведено сравнение дифракционной картины (λ = 532 нм) с теоретическими расчетами.
Ключевые слова:
наноабляция, микро- и наноструктурирование поверхности, монокристалл алмаза.
Образец цитирования:
В. М. Гололобов, В. В. Кононенко, В. И. Конов, “Лазерное структурирование алмазной поверхности в режиме наноабляции”, Квантовая электроника, 46:12 (2016), 1154–1158 [Quantum Electron., 46:12 (2016), 1154–1158]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16529
https://www.mathnet.ru/rus/qe/v46/i12/p1154
Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
Ni Chen, Runkai Wang, Balasubramanian Nagarajan, Bo Yan, Yang Wu, Ning He, Sylvie Castagne, Journal of Materials Research and Technology, 18 (2022), 4114
V. M. Gololobov, V. V. Kononenko, V. I. Konov, Opt. Laser Technol., 131 (2020), 106396
S. N. Bagayev, S. M. Arakelian, A. O. Kucherik, D. N. Bukharov, O. Ya. Butkovsky, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 84:12 (2020), 1427
Т. В. Кононенко, П. А. Пивоваров, А. А. Хомич, Р. А. Хмельницкий, В. И. Конов, Квантовая электроника, 48:3 (2018), 244–250; Quantum Electron., 48:3 (2018), 244–250
П. А. Пивоваров, В. С. Павельев, В. А. Сойфер, К. В. Черепанов, В. И. Анисимов, В. В. Бутузов, В. Р. Сороченко, Н. В. Артюшкин, В. Е. Рогалин, Н. И. Щебетова, В. Г. Плотниченко, В. И. Конов, Квантовая электроника, 48:11 (2018), 1000–1004; Quantum Electron., 48:11 (2018), 1000–1004
В. В. Кононенко, Е. В. Бушуев, Е. В. Заведеев, П. В. Волков, А. Ю. Лукьянов, В. И. Конов, Квантовая электроника, 47:11 (2017), 1012–1016; Quantum Electron., 47:11 (2017), 1012–1016