|
Квантовая электроника, 2016, том 46, номер 12, страницы 1154–1158
(Mi qe16529)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Лазерное структурирование алмазной поверхности в режиме наноабляции
В. М. Гололобовa, В. В. Кононенкоab, В. И. Коновab a Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
Аннотация:
Экспериментально исследована возможность применения процесса наноабляции (безграфитизационного фотоиндуцированного травления) для прецизионного микро- и наноструктурирования поверхности монокристалла алмаза. Обработка осуществлялась фемтосекундными импульсами третьей гармоники титан-сапфирового лазера (λ = 266 нм). Обсуждаются особенности формирования нанорельефа поверхности: регулярность формируемых структур и уменьшение скорости наноабляции вблизи уже сформированных кратеров. Продемонстрирована возможность создания алмазной фазовой дифракционной решетки с глубиной рельефа ~130 нм и проведено сравнение дифракционной картины (λ = 532 нм) с теоретическими расчетами.
Ключевые слова:
наноабляция, микро- и наноструктурирование поверхности, монокристалл алмаза.
Поступила в редакцию: 09.11.2016
Образец цитирования:
В. М. Гололобов, В. В. Кононенко, В. И. Конов, “Лазерное структурирование алмазной поверхности в режиме наноабляции”, Квантовая электроника, 46:12 (2016), 1154–1158 [Quantum Electron., 46:12 (2016), 1154–1158]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16529 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v46/i12/p1154
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 315 | PDF полного текста: | 65 | Список литературы: | 53 | Первая страница: | 21 |
|