Мощный высокостабильный КrF-лазер с частотой следования импульсов 4 кГц

Представлены результаты создания и исследования электроразрядного KrF-лазера (248 нм) со средней мощностью излучения 300 Вт. Ряд новых конструктивных особенностей лазера обусловлен использованием лазерной камеры на основе керамической трубы из Al₂O₃. Большие значения мощности и частоты следования импульсов достигнуты за счет применения объемного разряда с боковой предыонизацией УФ излучением скользящего разряда в виде однородного плазменного листа на поверхности плоской сапфировой пластины. Исследованы различные генераторы для накачки лазера. Максимальная эффективность лазера составила 3.1%, максимальная энергия генерации – 160 мДж/имп., а длительность импульса на полувысоте – 7.5 нс. В долговременном режиме при частоте следования импульсов 4 кГц и выходной мощности 300 Вт высокая стабильность энергии излучения (σ≤0.7%) достигалась с использованием полностью твердотельной системы накачки.