|
Квантовая электроника, 2015, том 45, номер 8, страницы 725–730
(Mi qe16215)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Воздействие лазерного излучения на вещество
Формирование циклических внутриобъемных структур в прозрачных диэлектриках с помощью фемтосекундного лазера
С. К. Вартапетов, Д. В. Ганин, К. Э. Лапшин, А. З. Обидин Центр физического приборостроения Института общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Троицк Московской обл.
Аннотация:
Представлены результаты экспериментов по созданию технологии прецизионной микрообработки материалов при фокусировке излучения фемтосекундных (ФС) лазерных импульсов в объем прозрачного материала, важной в частности, при обработке биоматериалов в офтальмологии. Определены условия возникновения и описаны некоторые характерные признаки особого режима микрообработки, когда при определенном соотношении между скоростью сканирования образца и частотой следования ФС импульсов разрушенная лазерным излучением область смещается вдоль оптической оси к объективу и обратно, формируя внутри образца циклические структуры. Предполагается, что основными причинами смещения области разрушения являются наведенное изменение показателя преломления и уменьшение порога разрушения вследствие изменения плотности и структуры материала в микрообласти, которая примыкает к границе полости, образовавшейся под действием предыдущего импульса. Результаты проведенного исследования с учетом влияния описанного режима были использованы в технологии прецизионной резки кристаллов, стекол, полимеров. Лучшее качество поверхностей реза достигается в условиях, исключающих возникновение такого режима. В образцах из поликарбоната, полиметилметакрилата и плавленого кварца получены цилиндрические полости с аспектными соотношениями более 200, направленные вдоль лазерного пучка, и микрокапилляры диаметром 1–2 мкм в направлении, перпендикулярном этому пучку.
Ключевые слова:
фемтосекундный лазерный импульс, микроструктуры, филамент, взаимодействие фемтосекундного излучения с прозрачными диэлектриками, фоторазрушение, фокусировка в объем материала.
Поступила в редакцию: 08.04.2014 Исправленный вариант: 02.12.2014
Образец цитирования:
С. К. Вартапетов, Д. В. Ганин, К. Э. Лапшин, А. З. Обидин, “Формирование циклических внутриобъемных структур в прозрачных диэлектриках с помощью фемтосекундного лазера”, Квантовая электроника, 45:8 (2015), 725–730 [Quantum Electron., 45:8 (2015), 725–730]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16215 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v45/i8/p725
|
|