|
Квантовая электроника, 2015, том 45, номер 5, страницы 462–466
(Mi qe16177)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Экстремальные световые поля и их приложения
Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста
Д. А. Заярныйa, А. А. Ионинa, С. И. Кудряшовab, С. В. Макаровac, А. А. Руденкоa, Е. А. Дроздоваd, С. Б. Одиноковd a Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
d Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
Аннотация:
Экспериментально исследованы особенности абляции тонкой серебряной пленки со слоем высокопрозрачного фоторезиста толщиной 1 мкм и без него под действием одиночных жесткосфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов излучения видимого (515 нм) диапазона. Обнаружены и обсуждаются интерференционные эффекты внутренней модификации слоя фоторезиста, его откольной абляции с поверхности пленки, а также формирования сквозных полых субмикронных каналов в резисте без его откола, но с абляцией расположенной под ним серебряной пленки.
Ключевые слова:
тонкая серебряная пленка с микронным слоем прозрачного фоторезиста, фемтосекундные лазерные импульсы видимого диапазона, жесткая фокусировка, субмикро- и микроабляция.
Поступила в редакцию: 22.02.2015
Образец цитирования:
Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, А. А. Руденко, Е. А. Дроздова, С. Б. Одиноков, “Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста”, Квантовая электроника, 45:5 (2015), 462–466 [Quantum Electron., 45:5 (2015), 462–466]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe16177 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v45/i5/p462
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 249 | PDF полного текста: | 54 | Список литературы: | 24 | Первая страница: | 15 |
|