Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2015, том 45, номер 5, страницы 462–466 (Mi qe16177)  

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Экстремальные световые поля и их приложения

Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста

Д. А. Заярныйa, А. А. Ионинa, С. И. Кудряшовab, С. В. Макаровac, А. А. Руденкоa, Е. А. Дроздоваd, С. Б. Одиноковd

a Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
d Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
Список литературы:
Аннотация: Экспериментально исследованы особенности абляции тонкой серебряной пленки со слоем высокопрозрачного фоторезиста толщиной 1 мкм и без него под действием одиночных жесткосфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов излучения видимого (515 нм) диапазона. Обнаружены и обсуждаются интерференционные эффекты внутренней модификации слоя фоторезиста, его откольной абляции с поверхности пленки, а также формирования сквозных полых субмикронных каналов в резисте без его откола, но с абляцией расположенной под ним серебряной пленки.
Ключевые слова: тонкая серебряная пленка с микронным слоем прозрачного фоторезиста, фемтосекундные лазерные импульсы видимого диапазона, жесткая фокусировка, субмикро- и микроабляция.
Поступила в редакцию: 22.02.2015
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2015, Volume 45, Issue 5, Pages 462–466
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2015v045n05ABEH015788
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 79.20.Eb, 81.15.-z, 42.65.Re


Образец цитирования: Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, А. А. Руденко, Е. А. Дроздова, С. Б. Одиноков, “Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста”, Квантовая электроника, 45:5 (2015), 462–466 [Quantum Electron., 45:5 (2015), 462–466]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe16177
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v45/i5/p462
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:265
    PDF полного текста:65
    Список литературы:36
    Первая страница:15
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024