Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, А. А. Руденко, Е. А. Дроздова, С. Б. Одиноков, “Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста”, Квантовая электроника, 45:5 (2015), 462–466 [Quantum Electron., 45:5 (2015), 462

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2015, том 45, номер 5, страницы 462–466 (Mi qe16177)

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Экстремальные световые поля и их приложения

Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста

Д. А. Заярный^a, А. А. Ионин^a, С. И. Кудряшов^ab, С. В. Макаров^ac, А. А. Руденко^a, Е. А. Дроздова^d, С. Б. Одиноков^d

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
^b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
^c Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
^d Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана

PDF полного текста (3065 kB) Список цитирования (4)

Список литературы:

PDF

HTML

Аннотация: Экспериментально исследованы особенности абляции тонкой серебряной пленки со слоем высокопрозрачного фоторезиста толщиной 1 мкм и без него под действием одиночных жесткосфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов излучения видимого (515 нм) диапазона. Обнаружены и обсуждаются интерференционные эффекты внутренней модификации слоя фоторезиста, его откольной абляции с поверхности пленки, а также формирования сквозных полых субмикронных каналов в резисте без его откола, но с абляцией расположенной под ним серебряной пленки.

Ключевые слова: тонкая серебряная пленка с микронным слоем прозрачного фоторезиста, фемтосекундные лазерные импульсы видимого диапазона, жесткая фокусировка, субмикро- и микроабляция.

Поступила в редакцию: 22.02.2015

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2015, Volume 45, Issue 5, Pages 462–466
DOI: https://doi.org/10.1070/QE2015v045n05ABEH015788

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 79.20.Eb, 81.15.-z, 42.65.Re

Образец цитирования: Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, А. А. Руденко, Е. А. Дроздова, С. Б. Одиноков, “Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста”, Квантовая электроника, 45:5 (2015), 462–466 [Quantum Electron., 45:5 (2015), 462–466]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe16177

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v45/i5/p462

Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	260
PDF полного текста:	62
Список литературы:	36
Первая страница:	15

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы