Сравнительный анализ двух методов расчета коэффициента отражения черного кремния

Выполнено детальное численное моделирование процесса отражения излучения видимого диапазона от субволновой решетки с прямоугольным профилем на поверхности кремния. Моделирование проведено методами эффективного показателя преломления и связанных мод. Получены и проанализированы зависимости коэффициента отражения от глубины решетки, параметра заполнения и угла падения для ТЕ и ТМ поляризаций. Выявлено хорошее совпадение результатов, полученных обоими методами при периодах решетки ~100 нм. Показана возможность снижения коэффициента отражения поляризованного излучения до ~1% путем подбора глубины и параметра заполнения решетки. Рассмотрены особенности проявления эффекта Брюстера (псевдобрюстеровский угол) в рассматриваемой системе. Показана возможность существования псевдобрюстеровского угла, а также его отсутствия для обеих поляризаций падающего излучения, в зависимости от параметров прямоугольной наноструктуры на поверхности.