Восстановление монокристалличности аморфизованной ионным легированием поверхности кремния лучом аргонового лазера

Исследовался процесс восстановления монокристалличности поверхности кремния, аморфизованной ионным легированием, под воздействием света мощного (до 500 Вт) аргонового лазера непрерывного действия. Опыты проводились на воздухе, плотность световой мощности составляла около 100 Вт/см², время освещения не превышало нескольких секунд. Использовались монокристаллические пластины кремния, легированные мышьяком при комнатной температуре (энергия облучения 100 кэВ, доза 1800 мкКл/см²). Найден «мягкий» режим лазерного нагрева, когда пластина через несколько секунд оплавлялась по поверхности. Электронографические исследования на отражение показали, что в результате воздействия лазерного облучения происходит восстановление монокристалличности ионно-легированного аморфного слоя кремния даже при кратковременном (3 с) освещении. Полное восстановление монокристалличности происходит при оплавлении поверхности.