Устойчивый к погрешностям изготовления интегральный поляризационный делитель на основе каскада интерферометров Маха–Цендера

Представлена конструкция устойчивого к погрешностям изготовления поляризационного делителя на основе каскада интерферометров Маха–Цендера. Использование данной конструкции позволяет в 2 – 3 раза (по уровню 20 дБ) увеличить допустимую погрешность в набеге фаз по сравнению с единичным интерферометром. В качестве примера приведен численный расчет прибора на основе планарного волновода из Si₃N₄ для центральной длины волны 650 нм. Допустимые отклонения ширин канальных волноводов от расчётных значений составляют ~8 % (~30 нм) для TE поляризации и ~30% (100 нм) для ТМ поляризации (по уровню 20 дБ для коэффициента экстинкции).