Определение показателя преломления, коэффициента экстинкции и толщины тонких пленок методом возбуждения волноводных мод

Предложен метод одновременного измерения показателя преломления n_f, коэффициента экстинкции m_f и толщины H_f тонких пленок. В основе метода лежит резонансное возбуждение волноводных мод в пленке TE или TM поляризованным лазерным пучком в геометрии нарушенного полного внутреннего отражения. Значения n_f, m_f и H_f находят путем минимизации функционала φ =[N^-1Σ^N_i=1(R_exp(θ_i) – R_thr(θ_i))²]^1/2, где R_exp(θ_i) и R_thr(θ_i) – экспериментально измеренный и теоретически рассчитанный коэффициенты отражения светового пучка от границы между измерительной призмой и пленкой при угле падения θ_i. Погрешности определения n_f, m_f и H_f данным методом составляют ±2×10^-4, ±1×10^-3 и ±0.5 % соответственно.