|
Квантовая электроника, 2013, том 43, номер 9, страницы 791–794
(Mi qe15218)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Наноградиентные диэлектрические покрытия и метаматериалы
Получение наноградиентных покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления
Н. Ф. Абрамовa, О. Д. Вольпянa, Ю. А. Ободa, Р. В. Дронскийb a ОАО «НИИ "Полюс" им. М. Ф. Стельмаха», г. Москва
b ООО «НПК Фотрон-Авто», г. Москва
Аннотация:
Показаны значительные преимущества магнетронного метода нанесения сложных высококачественных оптических покрытий для лазерных приборов. Рассмотрены технологические аспекты эффективного получения таких покрытий. Описаны возможности разработанного автоматизированного технологического и контрольного оборудования.
Ключевые слова:
наноградиентные покрытия, магнетронное распыление, тонкопленочные элементы, оптические покрытия.
Поступила в редакцию: 24.04.2013 Исправленный вариант: 09.08.2013
Образец цитирования:
Н. Ф. Абрамов, О. Д. Вольпян, Ю. А. Обод, Р. В. Дронский, “Получение наноградиентных покрытий для лазерных приборов методом магнетронного распыления”, Квантовая электроника, 43:9 (2013), 791–794 [Quantum Electron., 43:9 (2013), 791–794]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe15218 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v43/i9/p791
|
|