Простой способ эффективного использования материала мишени при импульсном лазерном напылении тонких пленок

Рассмотрены факторы, определяющие коэффициент полезного использования (КПИ) материала мишени при импульсном лазерном напылении пленок. Проведен расчет испаренного объема мишени при абляции сфокусированным лазерным пучком прямоугольной формы. Предложено и разработано новое устройство для получения тонких пленок методом импульсного лазерного напыления, отличительной особенностью которого является использование расположенной вне напылительной камеры простой оптической системы, состоящей из двух линз и диафрагмы и фокусирующей лазерный пучок на мишень в пятно в виде сектора. С использованием данного устройства проводилось напыление тонких пленок CuO и YBaCuO. После нескольких циклов напыления выявлено, что материал мишени расходуется равномерно со всей поверхности. Максимальный разброс толщины мишени не превышал ±2% как до напыления, так и после него. Предлагаемое устройство позволяет обеспечить высокий КПИ материала мишени.